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            日本sanyu electron臺式快速涂布機

            日本sanyu electron臺式快速涂布機

            產(chǎn)品型號: SC-701AT

            所屬分類:涂布機

            產(chǎn)品時間:2024-09-09

            簡要描述:日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
            排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進入大氣
            盡管是緊湊型,但仍可以進行膜厚控制(簡單型)
            全自動濺射設(shè)備,操作簡便,重現(xiàn)性高

            詳細說明:

            日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT

             

            特征

             

            • 排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進入大氣
            • 盡管是緊湊型,但仍可以進行膜厚控制(簡單型)
            • 全自動濺射設(shè)備,操作簡便,重現(xiàn)性高
            • 配備涂層/蝕刻模式

            應(yīng)用/結(jié)果示例

             

            • 各種設(shè)備的電極膜附件
            • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

            日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT

            基本規(guī)格

             

            陰極φ2英寸/ 2極面對電極
            濺射靶包含金靶
            蝕刻目標包括Al目標
            膜厚設(shè)定方法預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
            氣體導(dǎo)入機制針閥
            真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏)
            排氣操作自動的
            箱體尺寸內(nèi)徑φ120mm x D120 mm(SUS制)
            樣品交換方法前門開合式
            尺寸(寬/深/高)主體:225/420 / 320mm
            RP:300/160 / 200mm
            重量身體:15公斤
            RP:9公斤


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